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安徽省对外科技合作项目 “用于高端显示平板制造的ELA设备联合研发”通过验收
日期:2017-12-08 作者:尹广玥、游利兵/文、陶汝华/图
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11月29日,安徽省科技厅组织专家对安光所承担的安徽省对外科技合作计划项目“用于高端显示平板制造的ELA设备联合研发”进行验收。

专家组由来自中国科学技术大学、国防科学技术大学、合肥工业大学、安徽大学、浙江师范大学的光学专家组成。项目负责人方晓东研究员就“大能量准分子激光”和“线光束整形”等一系列平板显示退火设备关键技术的研究进展,以及项目执行情况进行了工作汇报。专家组对项目研究内容及考核指标的完成情况、成果的创新性、国际合作的实施效果、项目经费使用情况等方面进行了综合评审,并形成了项目验收意见。专家组一致认为项目严格按照任务书要求开展工作,完成了任务书预定的研究内容,各项考核指标达到验收要求,同意通过验收。

ELA设备是高端显示技术LTPS TFT- LCD低温多晶硅薄膜制备的关键装备,还将作为主流工艺设备应用于下一代显示技术—AMOLED。安光所在突破多项关键技术的基础上,研制完成用于高端显示制造的准分子激光退火设备原理性样机,实现了大能量、高横纵比、能量分布均匀的准分子激光线光束扫描。首次基于国产设备样机进行了低温多晶硅样品制备,并获得了良好的效果,为该设备的国产化奠定了良好的基础。

验收会及现场检查

ELA样机及用其制备的多晶硅形貌


 
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